Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 2002.05a
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- Pages.48-48
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- 2002
A Study on the Characteristic of TiN Thin Films Deposited by Metal Organic Atomic Layer Deposition
유기소스 원자층 증착법으로 증착된 TiN 박막의 특성 연구
Abstract
Keywords