이온플레이팅-이온주입 하이브리드 공정기술에 의한 cBN박막의 합성 및 특성 분석

• Lee, Seong-Hun ;
• Gwon, Hyeon-Seong ;
• Byeon, Ung-Seon ;
• Kim, Jong-Guk ;
• Lee, Geon-Hwan ;
• Lee, Eung-Jik ;
• Lee, Sang-Ro

• 이성훈 (한국기계연구원) ;
• 권현성 (경상대학교) ;
• 변웅선 (한국기계연구원) ;
• 김종국 (한국기계연구원) ;
• 이건환 (한국기계연구원) ;
• 이응직 ((주)선익시스템) ;
• 이상로 ((주)에스이 플라즈마)

• Published : 2001.07.05

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