B$_{10}H_{14}$을 이용한 ultra shallow-junction 형성 및 전기적 특성

• Song, Jae-Hun ;
• Song, Jong-Han ;
• Lee, Jun-Yeop ;
• Im, Seong-Il ;
• O, Min-Seok ;
• Choe, Deok-Gyun ;
• Choe, Won-Guk

• 송재훈 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터) ;
• 송종한 (한국과학기술연구원 특성분석센터) ;
• 이준엽 (연세대학교 응용물리학과) ;
• 임성일 (연세대학교 응용물리학과) ;
• 오민석 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터) ;
• 최덕균 (한양대학교 무기재료공학과) ;
• 최원국 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터)

• Published : 2001.07.05

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