한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2001년도 춘계학술대회 논문집 반도체재료
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- Pages.84-87
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- 2001
$CeO_2$ 박막의 건식 식각 특성 연구
The study on the dry etching characteristics of $CeO_2$ thin films
초록
In this study,