Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)
- 2001.05b
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- Pages.26-29
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- 2001
The Characteristic on Electrical Resistivity of Zno film by Ramped method
선택적 증착에 의해서 제작한 ZnO 박막의 전기저항률 특성
- Lee, Woo-Sun ;
- Choi, Kwon-Woo ;
- Cho, Joon-Ho ;
- Park, Jin-Seong ;
- Seo, Yong-Jin ;
- Kim, Sang-Yong ;
- Chung, Yong-Ho ;
- Lee, Jin
- 이우선 (조선대학교 전기공학과) ;
- 최권우 (조선대학교 전기공학과) ;
- 조준호 (조선대학교 전기공학과) ;
- 박진성 (조선대학교 전기공학과) ;
- 서용진 (대불대) ;
- 김상용 (아남반도체) ;
- 정용호 (서강정보대) ;
- 이진 (목포대)
- Published : 2001.05.11
Abstract
ZnO thin film had been deposited on the glass by Evaporation Ramped method. and electrical and resistivity were investigated. Evaporation gas(