한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2001년도 춘계학술대회 논문집 반도체재료
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- Pages.12-16
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고밀도 $CF_{4}/Ar$ 플라즈마에서 $YMnO_3$ 박막의 식각 매카니즘
Etching Mechanism of $YMnO_3$ Thin Films in High Density $CF_{4}/Ar$ Plasma
- 발행 : 2001.05.11
초록
We investigated the etching characteristics of