한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2001년도 춘계학술대회 논문집 유기절연재료 전자세라믹 방전플라즈마 연구회
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- Pages.197-200
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- 2001
As-deposited TaN 박막의 열처리 온도에 따른 특성 변화
Characteristics of AS-deposited TaN Thin Films by Annealing Temperature
초록
반응성 스퍼터링법으로 TaN film을 증착한 후 열처리온도에 따라 TaN 박막의