한국정보통신학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference)
- 한국해양정보통신학회 2001년도 추계종합학술대회
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- Pages.621-625
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- 2001
RF 대역통과필터 응용을 위한 FBAR 소자
FBAR devices for RF bandpass filter applications
- Giwan Yoon (Information and Communications University(ICU)) ;
- Park, Sungchang (MicroScale Co Ltd.)
- 발행 : 2001.10.01
초록
본 논문에서는 압전박막 및 이들의 FBAR 소자 응용에 대한 연구를 발표 한다. FBAR 소자는 상부 및 하부 전극 사이에 압전체가 삽입되어 있는 공진부와 SiO
In this article, piezoelectric films and their application for film bulk acoustic resonator (FBAR) devices are presented. The FBAR is composed of piezoelectric film sandwiched between top and bottom electrodes and an acoustic reflector of SiO