Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

2001.11a
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Pages.162-162
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2001

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

Simulation and characterization of Si-O-n-F films for optical lithography

광리소그래피 위상변위 마스크를 위한 Si-O-N-F 박막의 모사연구 및 특성분석

최은철 (한국과학기술원) ;
김성관 (한국과학기술원) ;
노광수 (한국과학기술원) ;
김형도 (삼성전자 반도체연구소) ;
손정민 (삼성전자 반도체연구소)

Published : 2001.11.01

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Abstract

Keywords