Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 2001.11a
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- Pages.161-161
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- 2001
Effects of thickness and oxygen concentration on properties of Ru thin films bynew Ru precursor
새로운 Ru precursor를 이용하여 증착한 Ru 박막의 두께 및 산소의 박막 특성에 대한 영향분석
Abstract
Keywords