Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 2001.11a
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- Pages.149-149
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- 2001
Spectral analyses of the impact of nanotopography of silicon wafers on oxide CMP
산화막 화학적 기계적 연마에 영향을 미치는 실리콘 웨이퍼 나노토포그래피의 스펙트럼 분석
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- Take Katoh ;
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박진형
(한양대학교, 첨단 반도체 소재/소자 개발연구소)
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- 유형철 (한양대학교, 첨단 반도체 소재/소자 개발연구소) ;
- 박재근 (한양대학교, 첨단 반도체 소재/소자 개발연구소)
- Published : 2001.11.01
Abstract
Keywords