Developement of Automatic Microanalysis System of Ammonia Gas in Clean Room by Using of Wet Denuder

디누더를 이용한 클린룸 내 미량 암모니아 가스 자동 측정 시스템 개발

반도체 생산에서 암모니아는 정밀성을 요구하는 공정 특히, 광증폭 공정에서 산과 반응하여 불량을 일으키는 주 원인이며, 고메모리로 갈수록 청정도 기준이 엄격해져서 1 ppbv 이하의 농도를 검출할 수 있는 기술이 요구되고 있다. 현재 반도체 회사에서의 암모니아 분석은 임핀저를 이용하여 가스를 포집한 후 이온크로마토그래피로 분석 하고 있으나, 이는 많은 시간과 인력이 요구되며, 실시간 분석이 어렵기 때문에 반도체 클린룸의 관리에 어려움이 있다. (중략)