한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2000년도 추계학술대회 논문집
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- Pages.25-28
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- 2000
고밀도 플라즈마에 의한 $Y_{2}O_{3}$ 박막의 식각 메커니즘 연구
Etch Mechanism of $Y_{2}O_{3}$ Thin Films in High Density Plasma
초록
In this study,