LP를 이용한 반도체 FAB라인 스케줄링 모델의 연구

  • 이준호 (연세대학교 산업시스템공학과) ;
  • 이영훈 (연세대학교 산업시스템공학과)
  • 발행 : 2000.10.01

초록

본 연구는 반도체 생산에서 제조공기 단축과 생산 능력의 극대화를 동시에 추구하는 스케줄링에 관한 연구이다. 반도체 공정에서의 생산능력은 사진 공정 안에 있는 병목 설비에 의존한다. 본 연구는 사진 공정의 병목 설비인 스테퍼의 효율적인 스케줄링을 생성하여 제조 공기의 단축과 생산량의 최대화를 위한 선형 계획법 모델을 제시하였다.

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