Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

2000.11a
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Pages.49-49
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2000

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

Deposition of Cu MOCVD using (hfac)Cu(1,5-DMCOD) as a precursor

(hfac)Cu(1,5-DMCOD) 전구체를 이용한 MOCVD Cu 박막의 증착특성 연구

변인재 (국민대학교) ;
서범석 (국민대학교) ;
양희정 (국민대학교) ;
이원희 (국민대학교) ;
이재갑 (국민대학교)

Published : 2000.11.01

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Abstract

Keywords