Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Electrical Engineers (대한전기학회)
권호 표지

The design and manufacturing of micro fabricated optical pick-up head

Micro Fabricated Optical Pick-up 헤드 설계 및 제작

  • Kim, I.H. (Electronics Technology Institute, Micro-Machine Research Center) ;
  • Park, K.B. (Electronics Technology Institute, Micro-Machine Research Center) ;
  • Jung, S.W. (Electronics Technology Institute, Micro-Machine Research Center) ;
  • Kim, K.N. (Electronics Technology Institute, Micro-Machine Research Center) ;
  • Moon, H.C. (Electronics Technology Institute, Micro-Machine Research Center) ;
  • Park, H.D. (Electronics Technology Institute, Micro-Machine Research Center)
  • 김인회 (전자부품연구원 마이크로머신연구센터) ;
  • 박광범 (전자부품연구원 마이크로머신연구센터) ;
  • 정석원 (전자부품연구원 마이크로머신연구센터) ;
  • 김건년 (전자부품연구원 마이크로머신연구센터) ;
  • 문현찬 (전자부품연구원 마이크로머신연구센터) ;
  • 박효덕 (전자부품연구원 마이크로머신연구센터)
  • Published : 2000.07.17
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Abstract

본 연구에서는 광 픽업의 소형, 경량 제작을 위해 MEMS 기술을 이용하여 planar micro optics 방법으로 광 픽업을 구성하는 micro lens, actuator, beamsplitter 등을 설계, 제작하고 집적화한 픽업헤드를 구성하여 그 특성을 분석하였다. 특성분석 결과 disk에 focusing 되는 beam의 형상은 circle type의 비교적 양호한 결과를 얻을 수 있었고 beam spot size는 약 22$\mu m$로 실제 system에서 요구되는 0.9$\mu m$이내의 beam spot size에 비해 약 25배 가량 큰 beam spot size를 얻을 수 있었다.

Keywords