Effects of sputtering parameters on the growth and luminous properties of $ZnGa_2O_4:Mn$ thin films

스퍼터링 조건이 $ZnGa_2O_4:Mn$ 박막의 물성과 발광특성에 미치는 영향

  • 김영진 (경기대학교 첨단산업공학부 신소재공학전공) ;
  • 정승묵 (경기대학교 첨단산업공학부 신소재공학전공) ;
  • 정영호 (경기대학교 첨단산업공학부 신소재공학전공) ;
  • 송국현 (국립기술품질원)
  • Published : 1999.05.01