Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Electrical Properties of Polycide Gate Formed by Using Cobalt Silicide as Diffusion Source

코발트 실리사이드를 도판트 소스로 이용한 폴리사이드 게이트의 전기적 특성

  • 정연실 (수원대학교 전자재료공학과) ;
  • 김시중 (수원대학교 전자재료공학과) ;
  • 김주연 (수원대학교 전자재료공학과) ;
  • 배규식 (수원대학교 전자재료공학과)
  • Published : 1999.05.01
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Abstract

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