Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Fabrication and characterization of piezoelectric microactuators adopting oxide electrode

산화물 전극을 이용한 압전 마이크로 액츄에이터 제작 및 특성평가

  • 이선호 (한양대학교 무기재료공학과) ;
  • 홍경일 (한양대학교 무기재료공학과) ;
  • 이진원 (한양대학교 무기재료공학과) ;
  • 최덕균 (한양대학교 무기재료공학과)
  • Published : 1999.05.01
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Abstract

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