Annealing Effects of Schottky Contacts on the Characteristics of Pt/4H-SiC Schottky Barrier Diodes

Pt/4H-SiC Schottky Barrier Diodes의 특성에서 Schottky 접합의 열처리 효과

  • 강수창 (명지대학교 세라믹·화학공학부) ;
  • 금병훈 (명지대학교 세라믹·화학공학부) ;
  • 도석주 (포항공과대학교 금속·재료공학부) ;
  • 제정호 (포항공과대학교 금속·재료공학부) ;
  • 신무환 (명지대학교 세라믹·화학공학부)
  • Published : 1999.05.01