Effect of the temperature on the interaction of hydrophobic silicon wafer with $NH_4OH$ solution of surfactant

계면 활성제 첨가한 암모니아 수용액의 온도에 따른 소수성 실리콘 웨이퍼와의 반응성

  • 김상용 (한양대학교 금속재료공학과) ;
  • 엄대홍 (한양대학교 금속재료공학과) ;
  • 박진구 (한양대학교 금속재료공학과)
  • Published : 1999.05.01