Effects of Different Top Electrodes on Electrical Characteristics of Metal-PZT-Ir Capacitors

Work Function이 다른 상부전극을 가진 강유전성 PZT 캐퍼시터의 전기적 특성의 변화

  • 최우성 (국민대학교 금속재료공학과) ;
  • 김지영 (국민대학교 금속재료공학과)
  • Published : 1999.05.01