Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 1999.05a
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- Pages.14-14
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- 1999
The Growth of $CoSi_2$ Using the Chemical Oxide Depending on the Surface Structure of Si(100) Substrates
Si(200)기판의 표면 구조변화에 따른 화학적 산화막을 이용한 $CoSi_2$ 의 성장에 관한 연구
Abstract
Keywords