Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

A Study on the Metalization Characteristics of Cu Films deposited by EP(Electro-Plating)

EP(Electro-Plating) Process을 이용한 Cu Metalization 특성 연구

  • 이계남 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 이창희 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 박종욱 (한국과학기술원 재료공학과)
  • Published : 1999.05.01
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Abstract

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