Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Modeling and Simulation of Oxygen Precipitation in CZ Silicon

CZ 실리콘에서 산소 석출 현상에 대한 모델링 및 시뮬레이션

  • 고봉균 (한양대학교 첨단반도체소재/소자개발연구소) ;
  • 최성욱 (한양대학교 첨단반도체소재/소자개발연구소) ;
  • 정홍일 (한양대학교 첨단반도체소재/소자개발연구소) ;
  • 박재근 (한양대학교 첨단반도체소재/소자개발연구소)
  • Published : 1999.11.01
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Abstract

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