Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 1998.11c
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- Pages.786-788
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- 1998
The effect of oxygen in RF PACVD diamond thin film
고주파 플라즈마 CVD 다이아몬드 박막의 합성시 첨가된 산소의 효과
- Kim, Dae-Il (Inha University) ;
- Lee, Sang-Hee (Inha University) ;
- Lee, Byoung-Soo (Inha University) ;
- Park, Jong-Kwan (Yuhan College) ;
-
Park, Sang-Hyun
(Kyungnam University)
;
- Kim, Bo-Youl (Inha Tech. Jr. College) ;
- Woo, Ho-Whan (Inha Tech. Jr. College) ;
- Lee, Duck-Chool (Inha University)
- 김대일 (인하대학교 전기공학과) ;
- 이상희 (인하대학교 전기공학과) ;
- 이병수 (인하대학교 전기공학과) ;
- 박종관 (유한대학 정보통신과) ;
-
박상현
(경남대학교 전기공학과)
;
- 김보열 (인하공업전문대학 전기과) ;
- 우호환 (인하공업전문대학 전기과) ;
- 이덕출 (인하대학교 전기공학과)
- Published : 1998.11.28
Abstract
Synthetic diamond films were deposited on pretreated silicon substrate in activated gas phase using RF plasma-assisted CVD. We investigated the influence of
Keywords