Electrical properties dependence of $(Ba,Sr)TiO_3/(Ba,Sr)RuO_3$ capacitors on the $(Ba,Sr)TiO_3$ film thickness

BST 박막 두께 감소에 따른 BST/BSR 캐패시터의 전기적 특성

  • 오세훈 (한양대학교 무기재료공학과) ;
  • 박경웅 (한양대학교 무기재료공학과) ;
  • 김범석 (한양대학교 무기재료공학과) ;
  • 최덕균 (한양대학교 무기재료공학과)
  • Published : 1998.11.01