Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)
- 1998.05a
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- Pages.160-161
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- 1998
A Study on the Characteristics of Inductively Coupled Plasma using Multiple Magnets and Its Application to Oxide Etching for Fabrication of Optical Waveguides
저장 강화된 유도결합형 플라즈마의 특성 및 광도파로 제작을 위한 산화막 식각에의 응용에 관한 연구
Abstract
Keywords