한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

층간절연막적용을 위한 Polyimide의 화학기계적 평탄화 공정

Chemical Mechanical Planarization of Polyimide as ILD material

  • 김형균 (한양대학교 금속재료공학과) ;
  • 이정용 (한양대학교 기계공학과) ;
  • 이상호 (한양대학교 금속재료공학과) ;
  • 박진구 (한양대학교 금속재료공학과) ;
  • 안유민 (한양대학교 기계공학과)
  • 발행 : 1998.11.01
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