CMP용 Slurry Particle간의 상호작용에 대한 연구

A Study on the Interaction between Slurry Particles for CMP

  • 이상호 (한양대학교 금속재료공학과) ;
  • 김형균 (한양대학교 금속재료공학과) ;
  • 박진구 (한양대학교 금속재료공학과) ;
  • 문두경 (한화그룹종합연구소)
  • 발행 : 1998.11.01