Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Plasma etching of Photosensitive BDB Using $C_2F_6$ Gas

$C_2F_6$를 이용한 감광성 BCB의 플라즈마 식각특성

  • 주철원 (한국전자통신연구원 회로소자기술연구소) ;
  • 이영민 (한국전자통신연구원 회로소자기술연구소) ;
  • 이상복 (한국전자통신연구원 회로소자기술연구소) ;
  • 박성수 (한국전자통신연구원 회로소자기술연구소`)
  • Published : 1998.11.01
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Abstract

Keywords