Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 1998.11a
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- Pages.14-14
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- 1998
A Study on the Etching Characteristics for MLM Structure Using High Density Plasma System
고밀도 플라즈마를 이용한 다층 금속 박막층의 식각 특성 연구
Abstract
Keywords