Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 1998.07d
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- Pages.1490-1492
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- 1998
A Study on the Diamond thin film synthesized by Microwave Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
마이크로웨이브 화학기상성장법을 이용한 다이아몬드 박막의 합성에 관한 연구
- Lee, Byoung-Soo (Inha University) ;
- Lee, Sang-Hee (Inha University) ;
-
Park, Sang-Hyun
(Kyungnam University)
;
- Park, Gu-Bum (Yuhan College) ;
- Park, Jong-Kwang (Yuhan College) ;
- Cho, Ki-Sun (Yuhan College) ;
- You, Do-Hyun (Ansan Tech. Junior College) ;
- Lee, Duck-Chool (Inha University)
- 이병수 (인하대학교) ;
- 이상희 (인하대학교) ;
-
박상현
(경남대학교)
;
- 박구범 (유한대학) ;
- 박종관 (유한대학) ;
- 조기선 (유한대학) ;
- 유도현 (안산공업전문대학) ;
- 이덕출 (인하대학교)
- Published : 1998.07.20
Abstract
The methastable state diamond films have been deposited on Si substrates using MWPCVD. Effects of each experimental parameters of MWPCVD including
Keywords