MOCVD법을 이용한 Sapphire(${Al}_{2}{O}_{2}$) 기판상의 GaN 선택적 성장특성 연구

Selective growth of GaN on sapphire(${Al}_{2}{O}_{2}$) substrates by metalorganic chemical vapor deposition

  • 발행 : 1997.10.01