HVPE를 이용한 GaN 완충층이 후막 GaN 성장에 미치는 영향

The Effects of GaN Buffer Layer on The Growth of Thick GaN Using HVPE

  • 이정욱 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 유지범 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 금동화 (한국과학기술연구원 합금설계센터)
  • 발행 : 1997.10.01