Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 1997.10a
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- Pages.88-88
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- 1997
The Characteristics of Low Temperature poly-Si TFT Fabricated with poly-Si Films Crystallized by Microwave Heating
마이크로웨이브법으로 고상결정화 시킨 poly-Si 박막을 이용하여 제작한 저온 poly-Si TFT의 특성
Abstract
Keywords