Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 1997.10a
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- Pages.87-87
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- 1997
Solid Phase Crystallization Behaviors and Microstructures of Amorphous Silicon Films Dependent on Deposition Conditions
증착 조건에 따른 비정질 실리콘 박막의 고상결정화 거동과 미세구조의 변화
Abstract
Keywords