The Improvement of Leakage Current of BST/Ru$O_{2}$ thin films by the application of Microcrystalline BST Layer

Microcrystalline BST 층의 적용을 통한 BST/Ru$O_{2}$박막의 누설전류특성 향상

  • 이공수 (한양대학교 재료공학과) ;
  • 성진용 (한양대학교 재료공학과) ;
  • 백수현 (한양대학교 재료공학과) ;
  • 마재평 (호남대학교 전자공학과)
  • Published : 1997.10.01