Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

1997.10a
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Pages.69-69
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1997

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

Diffusion barrier properties of Remote Plasma MOCVD TaN films for ferroelectric capacitor

강유전 capacitor용 MOCVD amorphous TaN 박막의 확산방지막 특성

한창희 (한양대학교 재료공학과) ;
백수현 (한양대학교 재료공학과) ;
조광남 (한양대학교 전자공학과) ;
오재응 (한양대학교 전자공학과) ;
정주혁 (삼성전자) ;
최진석 (삼성전자) ;
박창수 (삼성전자) ;
이상인 (삼성전자)

Published : 1997.10.01

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Abstract

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