Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 1997.10a
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- Pages.68-68
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- 1997
Surface reaction in Ru$O_{2}$ and Ru$O_{2}$ /Ru thin films during annealing at oxygen atmosphere
Ru$O_{2}$ 박막과 Ru$O_{2}$ /Ru 이중막의 산소 분위기 열처리시 표면 반응 연구
Abstract
Keywords