한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)
- 한국재료학회 1997년도 한국재료학회 추계학술발표회
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- Pages.54-54
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- 1997
건식세정에 의한 Si 표면의 금속불순물 제거에 관한 연구
Studies on the removal of metallic impurities on Si surface by dry cleaning
- Park, Ung ;
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Lee, Jong-Mu
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- Ahn, Tae-Hang ;
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Chun, Hyeong-Tak
- 발행 : 1997.10.01