Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Studies on the removal of metallic impurities on Si surface by dry cleaning

건식세정에 의한 Si 표면의 금속불순물 제거에 관한 연구

  • 박웅 (인하대학교 금속공학과) ;
  • 이종무 (인하대학교 금속공학과) ;
  • 안태항 (한양대학교 금속공학과) ;
  • 전형탁 (한양대학교 금속공학과)
  • Published : 1997.10.01
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Abstract

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