A Study on Low-Temperature Crystallization of LPCVD a-Si and TFTs

마이크로파를 이용한 LPCVD a-Si의 저온 결정화 및 TFT에 관한 연구

  • 최용우 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 이정노 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 안병태 (한국과학기술원 재료공학과)
  • Published : 1997.05.01