Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Microstructure of sputter deposited tungsten thin films for X-ray mask

스퍼터링법으로 증착된 W박막의 미세구조

  • 장철민 (금오공과대학교 재료공학과) ;
  • 최병호 (금오공과대학교 재료공학과)
  • Published : 1997.05.01
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords