Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

A Study on etch characteristics of Mo compound fabricated by magnetron sputtering

Magnetron 스퍼터링으로 제조된 Mo 화합물의 건식식각 특성에 관한 연구

  • 안경준 (성균관대학교 반도체 공정연구실) ;
  • 황순원 (성균관대학교 반도체 공정연구실) ;
  • 김현수 (성균관대학교 반도체 공정연구실) ;
  • 염근영 (성균관대학교 반도체 공정연구실)
  • Published : 1997.05.01
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Abstract

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