한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

Si(100)의 얇은 산화막을 통한 Co$Si_{2}$형성에 관한 연구

The study of the formation of Co$Si_{2}$through the thin oxide interlayer of Si(100)

  • 신영철 (한양대학교 금속공학과 반도체재료연구실) ;
  • 전형탁 (한양대학교 금속공학과 반도체재료연구실)
  • 발행 : 1997.05.01
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