코발트 폴리사이드 게이트 전극 형성

Formation of Cobalt-polycide gate electrode

  • 심현상 (수원대학교 전자재료공학과) ;
  • 구본철 (수원대학교 전자재료공학과) ;
  • 배규식 (수원대학교 전자재료공학과)
  • 발행 : 1997.05.01