$P^+$ Buried Layer 형성시 에너지와 조사량 변화에 따른 소자구동영역내 결함거동에 관한 연구

• 장윤택 (홍익대학교 금속·재료공학과) ;
• 허태훈 (홍익대학교 금속·재료공학과) ;
• 노재상 (홍익대학교 금속·재료공학과) ;
• 오재근 (현대전자 메모리 연구소) ;
• 이길호 (현대전자 메모리 연구소) ;
• 김종철 (현대전자 메모리 연구소)

• 발행 : 1997.07.01

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