Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Effects of surfactants on the etching of Cr for TFT-LCD application

  • 조동현 (서울대학교 공업화학과) ;
  • 오종혁 (서울대학교 공업화학과) ;
  • 이지화 (서울대학교 공업화학과)
  • Published : 1997.02.01
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Abstract

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