플라즈마를 이용한 이온주입기술에서 2차원 평면에 대한 시변위 Sheath 측정

• 김건우 (한양대학교 물리학과) ;
• 안영준 (한양대학교 물리학과) ;
• 최석호 (기계공학과) ;
• 이정혜 (한국과학기술연구원 특성분석센타) ;
• 윤정현 (기계공학과) ;
• 김곤호 (한양대학교 물리학과) ;
• 이연희 (기계공학과) ;
• 한승희 (기계공학과)

• Published : 1997.02.01

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